本振鏡采用高性能高速電機(jī)，具有體積小、速度快、精度高的優(yōu)點(diǎn)，性能非常穩(wěn)定可靠，配置雙光反射鏡片，支持450nm和1064nm，適應(yīng)多種應(yīng)用需求。
■ 采用高性能掃描電機(jī)以及國際領(lǐng)先的光電傳感技術(shù)。
■ 差分式光電傳感器精確檢測馬達(dá)轉(zhuǎn)子的位置，線性度好、漂移量小、分辨率和重復(fù)定位精度高。
■ 驅(qū)動器具有位置和速度超前檢測功能，大大提升整個系統(tǒng)的動態(tài)響應(yīng)性能和掃描速度。
■ 設(shè)計有過載、過流和反接保護(hù)，使系統(tǒng)的運(yùn)行更加可靠。
■ 整個系統(tǒng)采用電磁兼容優(yōu)化設(shè)計，信噪比高、抗干擾能力強(qiáng)。
■ 體積小巧，滿足行業(yè)內(nèi)對更高精度、更緊湊型系統(tǒng)不斷增長的需求，采用10mm光斑鏡片，涵蓋多種波長范圍。
■ 全新外觀設(shè)計，可與多款場鏡兼容。
速度 | |
標(biāo)記速度(1) | 4000mm/s |
定位速度(1) | 4000mm/s |
寫入速度(2) | 301cps |
階躍響應(yīng)時間（全行程1%） | 370us |
階躍響應(yīng)時間（全行程10%） | 630us |
跟蹤誤差 | ≤202us |
精度及誤差 | |
線性度 | 99.9% |
重復(fù)定位精度 | ＜8μRad |
增益誤差 | ＜5mRad |
零點(diǎn)偏移（批量原點(diǎn)誤差） | ＜5mRad |
長時間漂移（連續(xù)工作8小時） | ＜0.5mRad |
比例漂移 | ＜40PPM/℃ |
零點(diǎn)漂移 | ＜15μRad/℃ |
鏡片損傷閾值 | |
K9基體 | 9.1J/cm^2 |
Si基體 | 10J/cm^2 |
鏡片反射波長(3) | 10600nm / 1064nm / 355nm |
電源及信號 | |
輸入電壓 | ±15VDC |
額定電流 | 2A |
接口協(xié)議 | XY2-100 |
機(jī)械掃描角度(4) | ±11° |
工作電流、溫度、尺寸 | |
工作溫度 | 0℃~45℃ |
存儲溫度 | -10℃~60℃ |
激光輸入孔徑 | 10mm |
振鏡尺寸（長×寬×高） | 100×78×80mm |
振鏡重量 | ≈1Kg |
